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技術(shù)資料

Sputter下料頂板清洗機(jī)安裝充氣減震器LHF500/320-3

時(shí)間: 2024-11-27 10:06 瀏覽次數(shù):
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,Sputter(濺射鍍膜機(jī))下料頂板作為關(guān)鍵部件,其清潔度直接影響到鍍膜質(zhì)量和設(shè)備壽命。隨著工藝要求的日益嚴(yán)格,Sputter下料頂板清洗機(jī)的重要性愈發(fā)凸顯。然而,清洗過(guò)程中機(jī)器產(chǎn)生的振動(dòng)不僅影響清洗效果,還可能對(duì)頂板造成微損傷,進(jìn)而影響后續(xù)鍍膜工藝的穩(wěn)定性。因此,如何有效減少清洗機(jī)的振動(dòng)成為亟待解決的問(wèn)題。
 
針對(duì)這一挑戰(zhàn),專(zhuān)業(yè)工程師團(tuán)隊(duì)引入了充氣減震器LHF500/320-3,專(zhuān)為Sputter下料頂板清洗機(jī)設(shè)計(jì)。該減震器采用先進(jìn)的空氣彈簧技術(shù),通過(guò)調(diào)節(jié)內(nèi)部氣壓,能夠精準(zhǔn)控制減震效果,有效隔離清洗機(jī)工作時(shí)的振動(dòng)。LHF500/320-3不僅具備卓越的減振性能,還擁有良好的負(fù)載能力和穩(wěn)定性,確保了清洗機(jī)在高速運(yùn)轉(zhuǎn)下仍能保持高精度和穩(wěn)定性。
Sputter下料頂板清洗機(jī)安裝充氣減震器LHF500/320-3
安裝充氣減震器LHF500/320-3后,Sputter下料頂板清洗機(jī)的振動(dòng)得到了顯著抑制,清洗效果顯著提升,頂板微損傷率大幅下降。同時(shí),減震器的使用還延長(zhǎng)了清洗機(jī)和頂板的使用壽命,降低了維護(hù)成本,為半導(dǎo)體制造企業(yè)帶來(lái)了顯著的經(jīng)濟(jì)效益。此外,該減震器易于安裝和維護(hù),進(jìn)一步提升了設(shè)備的可靠性和可操作性,為半導(dǎo)體制造業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供了有力支持。

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